За допомогою електронного
мікроскопа, використовуючи малі збільшення до 20X можна спостерігати великі
площі поверхні, а також одержувати знімки окремих ділянок ушкоджень і зломів
при 100000 кратному збільшенні.
Найбільш важливі області
застосування:
1) аналіз експлуатаційних
ушкоджень;
2) джерело інформації про
внутрішню будову металу;
3)
аналіз поверхні
напівпровідникових матеріалів.
Для виконання дипломної роботи було поставлено
таку задачу:
1.
Вивчити будову та принцип роботи електронного мікроскопа.
2.
Вивчити конструкцію та принцип роботи растрового електронного
мікроскопа.
3.
Провести юстировку електронно-оптичної схеми електронного мікроскопа.
4.
Розробити схему сканування.
5.
Виготовити пристрій для реєстрації електронів.
6.
Розробити схему для реєстрації фотонів.
7.
Приготовити металеві та напівпровідникові зразки для досліджень.
8.
Провести дослідження поверхні зразків.
9.
Оформити результати.
|