В ході проведення експериментальної частини дипломної роботи були використані такі прибори:

·        Електронний мікроскоп TESLA BS500. Гарантована дозволяюча здатність якого 7 , коефіцієнт збільшення 500 – 100000

·        Підсилювач електрометричний У5-7. Гранична чутливість якого 10-10 А (V)

·        Циліндр Фарадея. (Виготовлений вручну)

·        Фотодіод

·         Генератор пилкообразних імпульсів

·        Самописець

Мал. 7. Схема реєстрації вторинних електронів

1. – катод. 2. – анод. 3. – відхиляючі котушки. 4. – циліндр Фарадея. 5. – зразок. 6. – підсилювач електрометричний У5-7. 7. – самописець. 8. – генератор пилкообразних імпульсів

(мал.7). Розроблено схему для реєстрації фотонів(мал.8).

Мал. 8. Схема реєстрації вторинних електронів

1. – катод. 2. – анод. 3. – відхиляючі котушки. 4. – фотодіод. 5. – зразок. 8. – генератор пилкообразних імпульсів

Приготовлено  металеві та напівпровідникові зразки для досліджень:

1.     металева сітка з розміром клітини а = 0.25 мм.

2.     кремнієва пластина з невеликими інородними включеннями ~0.5 мм.

3.     кремнієва пластина з олов’яними електродами розташованими один від одного на відстані 3 мм.    

 Проведено  дослідження поверхні зразків. Зразок (1) було досліджено за допомогою двох схем (мал.7,8), зразки (2) і (3) тільки за допомогою схеми, що реєструє електрони (мал. 7).

Отримані результати зображені на мал. 9, 10, 11, 12.

Мал.9. металева сітка з розміром клітини а = 0.25 мм. Досліджувана за допомогою циліндра Фарадея.

Мал.10. металева сітка з розміром клітини а = 0.25 мм. Досліджувана за допомогою фотодіода.

Мал. 12. кремнієва пластина з олов’яними електродами розташованими один від одного на відстані 3 мм. Досліджувана за допомогою циліндра Фарадея.