1.
Проведений
літературний пошук показав, що скануюча мікроскопія має переваги перед просвітлюючою:
а) методи створення дифракційних
картин у РЕМ досить прості і дають велику інформацію про кристалічну будову і
досконалість зразків.
б) можливість дослідження масивних
зразків.
в) можливість дослідження
внутрішньої будови зразків.
г) можливість виводу на екран
комп’ютера.
д) велика кількість способів
досліджень зразків.
е) простий в експлуатації.
- Принципіально показано:
а) можливість діагностики поверхні
металевих та напівпровідникових зразків за допомогою реєстрації вторинних
електронів циліндром Фарадея.
б) можливість діагностики поверхні
матеріалів, що добре люмінісцюють.
- Можливість використання даної установки для дослідження
поверхні напівпровідників.
|